NFA-ALIS
智能型苏玛罐分析及数据输出系统
NFA-ALIS
智能型苏玛罐分析及数据输出系统
在线监测非粒状悬浮化学污染物(AMC),针对无尘室环境对产品或制程的良率掌握与提升有关键性的影响
产品特点 |
提供VOCs 采样罐分析检测整合设备
机动性与临时性监控需求,利用采样罐样品进行样品分析,同时也适用一般实验室分析应用
规格符合工安采气罐放置空间设计,层架式 16 组 6L 采气罐位置 (可弹性调整 2 组 15L 采气罐)
简易安装后以软件操作,单一化的输入样品名称无需繁琐方法设定即可进行分析,以避免切换方法或设定时发生的人为错误
全机台使用去活化管路,同时缩短进样路径提高进样效率。
自动进样程序包含 Auto-purge 功能可有效解决高浓度样品交叉污染问题
有效判断 200 种以上高低沸点之挥发性有机化合物
整合式分析系统与优化侦测条件
校验模块搭配 STD & ISTD 标准气体體,精准定量特定化合物种
人性化操作接口与远段操控
数据数据库与报告输出系统
产品规格 |
说明 | 描述 |
量测物种 | 总有挥发性有机物(TVOC)、IPA、Acetone、Heptafluorobutyric anhydride 、2-Butanone 等 … |
环境检测化合物种,可依客户需求进行分析条件设定 | |
定量物种及范围 | < 50 pptv ( 于半导体标准方法进行量测) |
设备侦测极限 | < 50 pptv ( 於半導體標準方法進行量測) |
设备稳定性 | RSD <15 % (于 0.06 ppb 浓度下进行分析) |
需求气源 | 纯氮气、氦气 |
需求电力 | 三相 220 V,30 A,50~60 Hz |
尺寸与重量 | 1985 mm X 1070 mm X 1600 mm ; 550 kg |
<<其他相关细节请洽销售人员>> |