气相层析高解析质谱分析

气相层析飞行时间质谱仪，分析所得的精确分子量可排除同重素干扰并进一步进行结构解析与鉴定

应用范围 : 制程环境空气挥发性及半挥发性有机污染物检测、未知物精确分子量解析与鉴定、空气过滤材料使用周期监控、晶圆表面挥发性及半挥发性有机污染物检测、晶圆传送盒FOUP内部气体微污染快速分析。