NFA-1007w
線上自動化晶圓表面逸散性有機污染物分析設備

產品特點  
定點式自動化晶圓表面逸散性有機污染物線上分析設備
 
可 24小時無人化放置晶片至石英加熱爐內進行量測
 
配合客戶端使用之通信方式選擇通訊互動模式或手動安裝盒
 
最大晶圓量測尺寸 12 吋
 
有效判斷 200 種以上高低沸點之揮發性有機化合物
 
整合式分析系統與最佳化偵測條件
 
智能自發性檢核與調校系統
 
閾值設定,自動發報提醒
 
校驗模組搭配 STD&ISTD 標準氣體,精準定量特定化合物種
 
人性化操作介面與遠段操控
 
數據資料庫與報告輸出系統
 
依客戶原有分析方法優化或參考國際文獻及法規  


產品規格  
說明 描述
量測物種 總有揮發性有機物(TVOC)、IPA、Acetone、Heptafluorobutyric anhydride 、2-Butanone 等 …
定量物種及範圍 以 甲苯進行半定量模式
需求氣源 純氮氣、氦氣、零級空氣
需求電力 三相 220 V,30 A,50~60 Hz 
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