NFA-1007w
線上自動化晶圓表面逸散性有機污染物分析設備
NFA-1007w
線上自動化晶圓表面逸散性有機污染物分析設備
產品特點 |
定點式自動化晶圓表面逸散性有機污染物線上分析設備
可 24小時無人化放置晶片至石英加熱爐內進行量測
配合客戶端使用之通信方式選擇通訊互動模式或手動安裝盒
最大晶圓量測尺寸 12 吋
有效判斷 200 種以上高低沸點之揮發性有機化合物
整合式分析系統與最佳化偵測條件
智能自發性檢核與調校系統
閾值設定,自動發報提醒
校驗模組搭配 STD&ISTD 標準氣體,精準定量特定化合物種
人性化操作介面與遠段操控
數據資料庫與報告輸出系統
依客戶原有分析方法優化或參考國際文獻及法規
可 24小時無人化放置晶片至石英加熱爐內進行量測
配合客戶端使用之通信方式選擇通訊互動模式或手動安裝盒
最大晶圓量測尺寸 12 吋
有效判斷 200 種以上高低沸點之揮發性有機化合物
整合式分析系統與最佳化偵測條件
智能自發性檢核與調校系統
閾值設定,自動發報提醒
校驗模組搭配 STD&ISTD 標準氣體,精準定量特定化合物種
人性化操作介面與遠段操控
數據資料庫與報告輸出系統
依客戶原有分析方法優化或參考國際文獻及法規
產品規格 |
說明 | 描述 |
量測物種 | 總有揮發性有機物(TVOC)、IPA、Acetone、Heptafluorobutyric anhydride 、2-Butanone 等 … |
定量物種及範圍 | 以 甲苯進行半定量模式 |
需求氣源 | 純氮氣、氦氣、零級空氣 |
需求電力 | 三相 220 V,30 A,50~60 Hz |
<<其他相關細節請洽銷售人員>> |